prikaz prve stranice dokumenta Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
  Download
PDF 3.62 MB
master's thesis
Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
Zagreb: University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, 2009. urn:nbn:hr:235:635909
Cujzek, Branko
University of Zagreb
Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture

Institutional repository: Repository of Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture University of Zagreb

Cite this document

Cujzek, B. (2009). Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB (Master's thesis). Zagreb: University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture. Retrieved from https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, Branko. "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB." Master's thesis, University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, 2009. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, Branko. "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB." Master's thesis, University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, 2009. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, B. (2009). 'Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB', Master's thesis, University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, accessed 26 November 2024, https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek B. Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB [Master's thesis]. Zagreb: University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture; 2009 [cited 2024 November 26] Available at: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

B. Cujzek, "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB", Master's thesis, University of Zagreb, Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture, Zagreb, 2009. Available at: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Metadata
TitleMogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
AuthorBranko Cujzek
MentorSanjin Mahović (mentor)
GranterUniversity of Zagreb
Faculty of Mechanical Engineering and Naval Architecture
Zagreb
Defense date and country2009-03-26, Croatia
Scientific / art field,
discipline and subdiscipline		TECHNICAL SCIENCES
Mechanical Engineering
Abstract
U radu je dan pregled mjernih metoda i uređaja koji se danas najčešće koriste na području mikro i nano mjeriteljstva duljina. Zbog sve većih zahtijeva u današnje vrijeme koji se odnose na mjerenje, klasičnim se mjernim metodama ne mogu osigurati zahtijevane točnosti, tako da je uvođenje mikro i nano tehnologija potaknulo intenzivan razvoj potencijalnih postojećih mjernih metoda i uređaja kao i potpuno novih metoda, isto tako i uređaja koji mogu zadovoljiti takve mjerne zahtjeve, uz osvrt na problem osiguravanja sljedivosti i umjeravanja. Nakon toga ocijenjena je mogućnost Laboratorija za precizna mjerenja dužina FSB-a u osiguravanju sljedivosti na području mjeriteljstva dubina brazda, te je opisana interferencijska metoda mjerenja dubine brazde kao i polarizacijska metoda mjerenja debljine SiO2 sloja. Zatim je dan prikaz tehničkih karakteristika elipsometra AutoEL uz opisan sam princip rada istog. U eksperimentalnom dijelu rada izmjerena je debljina SiO2 sloja na elipsometru AutoEL IV, te je izvršena usporedba dobivenih rezultata s rezultatima dubine brazde koji su već ranije izmjereni pomoću interferencijskog mikroskopa Epival-Interphako.
Keywords
Languagecroatian
URN:NBNurn:nbn:hr:235:635909
Study programmeTitle: Mechanical Engineering
Study programme type: university
Study level: graduate
Academic / professional title: magistar/magistra inženjer/inženjerka strojarstva (magistar/magistra inženjer/inženjerka strojarstva)
Type of resourceText
File originBorn digital
Access conditionsOpen access
Terms of useLicence In copyright icon
Created on2019-05-21 15:05:04