prikaz prve stranice dokumenta Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
  Preuzmi
PDF 3.62 MB
diplomski rad
Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, 2009. urn:nbn:hr:235:635909
Cujzek, Branko
Sveučilište u Zagrebu
Fakultet strojarstva i brodogradnje

Institucijski repozitorij: Repozitorij Fakulteta strojarstva i brodogradnje Sveučilišta u Zagrebu

Citirajte ovaj rad

Cujzek, B. (2009). Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB (Diplomski rad). Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje. Preuzeto s https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, Branko. "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB." Diplomski rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, 2009. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, Branko. "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB." Diplomski rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, 2009. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek, B. (2009). 'Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB', Diplomski rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, citirano: 22.11.2024., https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Cujzek B. Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB [Diplomski rad]. Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje; 2009 [pristupljeno 22.11.2024.] Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

B. Cujzek, "Mogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB", Diplomski rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet strojarstva i brodogradnje, Zagreb, 2009. Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909

Za citiranje koristite ovu mrežnu adresu: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:235:635909
Podaci o radu
NaslovMogućnost primjene elipsometrijske metode u određivanju dubine brazde na referentnim etalonima hrapavosti LFSB
AutorBranko Cujzek
MentorSanjin Mahović (mentor)
Ustanova koja je dodijelila
akademski / stručni stupanj		Sveučilište u Zagrebu
Fakultet strojarstva i brodogradnje
Zagreb
Datum i država obrane2009-03-26, Hrvatska
Znanstveno / umjetničko
područje, polje i grana		TEHNIČKE ZNANOSTI
Strojarstvo
Sažetak
U radu je dan pregled mjernih metoda i uređaja koji se danas najčešće koriste na području mikro i nano mjeriteljstva duljina. Zbog sve većih zahtijeva u današnje vrijeme koji se odnose na mjerenje, klasičnim se mjernim metodama ne mogu osigurati zahtijevane točnosti, tako da je uvođenje mikro i nano tehnologija potaknulo intenzivan razvoj potencijalnih postojećih mjernih metoda i uređaja kao i potpuno novih metoda, isto tako i uređaja koji mogu zadovoljiti takve mjerne zahtjeve, uz osvrt na problem osiguravanja sljedivosti i umjeravanja. Nakon toga ocijenjena je mogućnost Laboratorija za precizna mjerenja dužina FSB-a u osiguravanju sljedivosti na području mjeriteljstva dubina brazda, te je opisana interferencijska metoda mjerenja dubine brazde kao i polarizacijska metoda mjerenja debljine SiO2 sloja. Zatim je dan prikaz tehničkih karakteristika elipsometra AutoEL uz opisan sam princip rada istog. U eksperimentalnom dijelu rada izmjerena je debljina SiO2 sloja na elipsometru AutoEL IV, te je izvršena usporedba dobivenih rezultata s rezultatima dubine brazde koji su već ranije izmjereni pomoću interferencijskog mikroskopa Epival-Interphako.
Ključne riječi
Jezikhrvatski
URN:NBNurn:nbn:hr:235:635909
Studijski programNaziv: Strojarstvo
Vrsta studija: sveučilišni
Stupanj studija: diplomski
Akademski / stručni naziv: magistar/magistra inženjer/inženjerka strojarstva (mag. ing. mech.)
Vrsta resursaTekst
Način izrade datotekeIzvorno digitalna
Prava pristupaOtvoreni pristup
Uvjeti korištenjaIkona licence Zaštićeno autorskim pravom.
Datum i vrijeme pohrane2019-05-21 15:05:04