prikaz prve stranice dokumenta Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji
Pristup korisnicima matične ustanove
završni rad
Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji
Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije, 2021. urn:nbn:hr:149:178431
Detić, Lucija
Sveučilište u Zagrebu
Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije

Institucijski repozitorij: Repozitorij Fakulteta kemijskog inženjerstva i tehnologije Sveučilišta u Zagrebu

Citirajte ovaj rad

Detić, L. (2021). Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji (Završni rad). Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije. Preuzeto s https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

Detić, Lucija. "Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji." Završni rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije, 2021. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

Detić, Lucija. "Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji." Završni rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije, 2021. https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

Detić, L. (2021). 'Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji', Završni rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije, citirano: 18.11.2024., https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

Detić L. Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji [Završni rad]. Zagreb: Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije; 2021 [pristupljeno 18.11.2024.] Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

L. Detić, "Primjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji", Završni rad, Sveučilište u Zagrebu, Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije, Zagreb, 2021. Dostupno na: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431

Za citiranje koristite ovu mrežnu adresu: https://urn.nsk.hr/urn:nbn:hr:149:178431
Podaci o radu
NaslovPrimjena elipsometrije u znanosti i tehnologiji
Naslov (engleski)Application of the ellipsometry in science and technology
AutorLucija Detić
MentorVladimir Dananić (mentor)
MentorDavor Ristić (komentor)
Član povjerenstvaVladimir Dananić (predsjednik povjerenstva)
Član povjerenstvaIva Movre Šapić (član povjerenstva)
Član povjerenstvaDavor Ristić (član povjerenstva)
Ustanova koja je dodijelila
akademski / stručni stupanj		Sveučilište u Zagrebu
Fakultet kemijskog inženjerstva i tehnologije
Zagreb
Datum i država obrane2021-09-13, Hrvatska
Znanstveno / umjetničko
područje, polje i grana		PRIRODNE ZNANOSTI
Fizika
Sažetak
Elipsometrija je optička tehnika koja se koristi za određivanje svojstava površina i tankih filmova. Zasniva se na mjerenju promjene polarizacije nakon refleksije od uzorka i zatim je uspoređuje s modelom. Ova tehnika ima vrlo široku primjenu za karakterizaciju sastava, hrapavosti, debljine, kristalne prirode tvari, električne vodljivosti i određivanje mnogih drugih svojstava tankih filmova. Elipsometrija je vrlo precizna tehnika jer ne mjeri točne vrijednosti, već kompleksan omjer preko kojeg računamo željene vrijednosti. Prilikom izvođenja eksperimenta mjerimo parametre ψ ( amplituda ) i Δ ( fazni pomak) , te ćemo uporabom odgovarajućih jednadžbi, navedenih u ovom radu, odrediti svojstva uzorka. U ovom radu prikazali smo primjenu elipsometrije mjereći amplitudu i fazni pomak na uzorcima silicijeva dioksida i titanijeva dioksida, te smo na temelju tih parametara odredili svojstva filmova.
Sažetak (engleski)
Ellipsometry is an optical technique used to determine the properties of surfaces and thin films. It is based on measuring the changes in polarization after reflection from the sample and then comparing it with the model. This technique has a very wide application for characterization of composition, roughness, thickness, crystal nature of matter, electrical conductivity and determination of many other properties of thin films. Ellipsometry is a very precise technique because it does not measure exact values, but it mesaure a complex ratio through which we calculate the desired values. When performing the experiment of the measurement parameters ψ (amplitude) and Δ (phase shift), using various individual equations that we will bring up in this paper, we can determine the properties of the sample. In this paper, we presented an example of ellipsometry measuring the amplitude and phase shift in a sample of silicon dioxide and titanium dioxide, and based on these parameters we determined the properties of the films.
Ključne riječi
Ključne riječi (engleski)
Jezikhrvatski
URN:NBNurn:nbn:hr:149:178431
Studijski programNaziv: Kemija i inženjerstvo materijala
Vrsta studija: sveučilišni
Stupanj studija: preddiplomski
Akademski / stručni naziv: sveučilišni/a prvostupnik/ prvostupnica (baccalaureus/baccalaurea) inženjer/inženjerka kemijskog inženjerstva (univ. bacc. ing. cheming.)
Vrsta resursaTekst
Način izrade datotekeIzvorno digitalna
Prava pristupaPristup korisnicima matične ustanove
Uvjeti korištenjaIkona licence Zaštićeno autorskim pravom.
Datum i vrijeme pohrane2023-03-27 12:09:40